晶圆包装机的使用和维护保养（上）

                                                              晶圆包装机的使用和维护保养（上）

      设备在使用（或闲置）过程中会产生磨损。磨损有两种形式：一种是有形磨损，亦称物质磨损或物质损耗；一种是无形磨损，也称精shen磨损或经济磨损。无论有形磨损还是无形磨损，其结果都会造成经济损失。为了减少设备磨损和在设备磨损后及时进行补偿，就必须首先弄清产生磨损的原因和磨损的规律，以便采取相应的技术、组织、经济措施。 

一、晶圆包装机产生磨损的原因及其规律

（一）产生磨损的原因及其规律 

设备无论在使用或是在闲置过程中，都会产生磨损。磨损，即设备在实物形态上的磨损。设备在运转使用中，作相互运动的零、部件的表面，在力的作用下，因摩擦而产生各种复杂的变化，使表面磨损、剥落和形态改变，以及由于物理、化学的原因引起零、部件疲劳、腐蚀和老化等等。设备使用过程中的有形磨损，既有正常磨损，又有因保管、使用不当和因受自然力的腐蚀（工作环境恶劣所致）而引起的非正常磨损。这种磨损的结果，通常表现为： 

（1）晶圆包装机使组成设备的各零、部件的原始尺寸改变。当磨损到一定程度时，甚zhi会改变零、部件的几何形状。 

（2）晶圆包装机使零、部件之间的相互配合性质改变，导致传动松动，精度和工作性能下降。 

（3）晶圆包装机的零件损坏，甚zhi因个别零件的损坏而引起与之相关联的其他零件的损坏，导致整个部件损坏，造成严重事故。